静科公司开发的精密设备的弹性支撑系统由螺旋钢弹簧及抗老化的阻尼液和金属壳体、固定垫板、调平钢板等部件构成。液态阻尼它和弹性元件并联，其作用是将产生的振动尽快衰减掉。对于大型的精密设备而言，阻尼要采用粘滞阻尼器。它是唯一可在空间的三个方向起阻尼作用的阻尼元件。其柱塞浸泡在高粘度的液体填充的罐体内，并可在所有6个自由度运动。精密设备的隔振既要求防止外部振动干扰测量系统，也不允许测量系统由于自身的运动而引起过高的自身振动。这一点可以通过足够大的质量来保证有代表性的精密设备。